تحدد هذه المواصفة القياسية الدولية أدنى قدر من المعلومات اللازمة في تقارير تحاليل الأغشية الرقيقة على طبقة تحتية باستخدام قياس طيف الإلكترون الضوئي بالأشعة السينية (XPS). تشمل هذه التحاليل قياس السمك والتركيب الكيميائي للأغشية الرقيقة المتجانسة، وقياس التركيب الكيميائي كدالة لعمق الأغشية الرقيقة غير المتجانسة بواسطة XPS محدد الزاوية، تحديد عمق الرش بقياس XPS، تحليل شكل الذروة، و XPS طاقة الفوتون المتغير.